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型號:

納米激光光刻系統(tǒng)

描述:納米激光光刻系統(tǒng)是專門為科研團隊和加工平臺設計的小范圍多功能光刻系統(tǒng),根據壓電平臺的移動范圍,分為P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型號,具有結構緊湊、操作方便、維護簡單、加工分辨率高、支持多種受體材料等特征,能廣泛適用于各種微納結構及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產。該系列產品還可根據用戶特殊需求,提供定制設計和制造。

  • 廠商性質

    生產廠家
  • 更新時間

    2024-09-25
  • 訪問量

    1521
詳細介紹
應用領域化工激光波長405nm
特征尺寸100nm激光功率120mW至300mW(可選)
刻寫范圍1500umx1500um

納米激光光刻系統(tǒng)‍是專門為科研團隊和加工平臺設計的小范圍多功能光刻系統(tǒng),根據壓電平臺的移動范圍,分為P100、P200、P500、P1000、P1500等不同型號,具有結構緊湊、操作方便、維護簡單、加工分辨率高、支持多種受體材料等特征,能廣泛適用于各種微納結構及器件制造、材料工藝探素和小規(guī)模生產。該系列產品還可根據用戶特殊需求,提供定制設計和制造。

新概念技術:華維納LDW-P系列納米激光光刻系統(tǒng)通過激光與材料的非線性相互作用,成功突破了光學衍射極限的限制,實現了納米尺度的加工分辨力,最小的孔洞直徑可達50nm。

多受體材料:華維納LDW-P系列通過高精度的功率調制(<1‰),可兼容包括金屬薄膜、無機相變材料、光刻膠等多種受體材料。

 

可靠易用性:華維納HWN-P擁有強大的軟件功能,支持標量刻寫、矢量刻寫等多種刻寫模式,供用戶根據不同的刻寫場景而選擇。另外,LDW-P系列還支持樣品刻寫后的在線分析,使用戶一站式完成設計、刻寫、分析等步驟, 大大提高了工作效率。

 

 

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